一：仪器设备名称、型号：半导体测试仪（keithley 4200SCS、SUSS探针台、motire显微镜） 

生产厂家： 美国吉时利仪器公司/SUSSMicrotec Test Gmbh 

主要技术参数和仪器性能： 

源漏栅三电极，最大施加电压200V. 配备1微米的探针。 

最大承重360kg的自动调平减震台150mm屏蔽样品座 

10/20/50倍物镜，2.5倍目镜。 

二：服务项目（测试项目） 

测试半导体的I/V曲线 

测试半导体薄膜、单晶器件的载流子迁移率 

三：联系方式 

电话：15168890850 

E-mail：liuyangicm@sdu.edu.cn

四：仪器放置地点：超净间222 

五：收费标准： 

对外（200一个样, 500一小时） 

对内（100一个样, 300一小时）