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S-4800超高分辨率扫描电子显微镜
2015-06-22 16:42   审核人:

 

S-4800是一个真正多用途平台,拥有卓越的高分辨性能、先进的探测技术和友好的用户界面,使它能够精确和清楚地捕捉最短暂的瞬间。 

采用了新型ExB式探测器和电子束减速功能,提高了图像质量,尤其是将低加速电压下的图像质量提高到了新的水平;新型透镜系统,提供了高分辨模式、高束流模式、大工作距离模式、磁性样品模式等多种工作模式,使以往无法实现的工作得以轻松完成。 

特点: 

1.最高达80万倍的放大倍数,高的成像分辨率:1.0nm/15kV,1.4nm/1kV(减速模式); 

2.拥有电子束减速技术,将1kV下的分辨率提高了30%,不仅减少了电子对样品的损伤还可用于分析浅表面形貌; 

3.优秀的分辨率稳定性; 

4.人性化的用户操作界面,多种透镜模式可供选择。 

技术指标: 

分辨率:1.0nm (15kV) 

2.0nm (1kV) 

1.4nm(1KV)入射电子减速功能 

加速电压:0.5 ~ 30kV,0.1kV/步 

放大倍率:×20 ~×800,000 

束流强度:1pA~2nA 

物镜光栏:加热自清洁式、四孔、可移动物镜光栏 

样品室和样品台: 

移动范围:X:0~50mm;Y:0~5mm;Z:1.5~30mm;T:-5~70°;R:360° 

最大样品尺寸:100mm 

探测器:高位探头可选择接受二次电子像或背散射像,并混合 

扫描模式:TV扫描(扫描速度不低于0.033s/帧),慢扫描,用于观察和记录 

电子图像移动:±12μm (WD=8mm) 

真空系统: 

真空度:10-7Pa (电子枪);10-4Pa (样品室) 

X射线能谱仪 

分辨率/有效面积:不低于133eV,30mm2 

联系方式: 

电话:0531-88362321 

E-mail:wuyz@sdu.edu.cn

SE/BSE成像: 

1. 400元/小时; 

2. 每小时限做2个样品,每多一个样品加收100元; 

3. 减速模式每个样品加收100元。 

喷涂导电膜: 

1. 喷铂120元/次; 

2. 喷碳80元/次。 

EDX成分分析: 

1. 300元/样(点、线); 

2. 500元/样(面)。 

***请注意本室只接收:干燥、非磁性样品***

送样请下载填写”SEM测试送样登记表”,经负责人签字后方可进行测试。 

本收费标准自2009年7月1日起执行 

晶体材料国家重点实验室扫描电镜室 

测试表格下载:晶体所SEM测试送样登记表.doc

附件【晶体所SEM测试送样登记表.doc已下载
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